Unser Kunde und Freund in Wiesbaden Erbenheim, die Firma Heller Vakuum Technik, hat dort einen Waver Stepper, der an Präzision am ganz oberen Ende der Machbarkeit wohnt.
Der sogenannte X-Y Tisch läßt sich ca. 450mm in der Breite und 250mm in der Tiefe mit einer Positioniergenauigkeit von 0,1 μ (müh) umherfahren.
Dabei "wohnt" das Teil (Waver-Stepper und X-Y Tisch) auf einem dicken Granit-Quader, denn allein der Trittschall des Bedieners würde das Laser Interferometer beim Positionieren aus dem Takt bringen.
Ein paar Meter weiter steht ein Elektronen Raster Mikroskop, ebenfalls auf einem Basalt Block, diesmal etwa 3 Tonnen, dessen X-Y Tisch von zwei Servomotoren angetrieben wird. Die Positioniergenauigkeit ist hierbei aber "nur" 0,25 μ.
Wieder ein paar Meter weiter steht ein Nanolab 3000 mit einem 6" x 6" X-Y Tisch mit Gewindespindel- Schrittmotoren, die es nur auf eine Positioniergenauigkeit von 3 bis 30 μ bringen.